激光切割機為了防止材料蒸氣冷凝到割縫壁上，材料的厚度一定不要大大超過激光光束的直徑。此情況下需要非常高的激光功率。所需的激光功率密度要大于108W/cm2，并且取決于材料、切割深度和光束焦點位置。 
該加工不能用于，像木材和某些陶瓷等，激光切割機那些沒有熔化狀態因而不太可能讓材料蒸氣再凝聚的材料。該加工因而只適合于應用在必需避免有熔化材料排除的情況下。另外，這些材料通常要達到更厚的切口。在板材厚度一定的情況下，假設有足夠的激光功率， 大切割速度受到氣體射流速度的限制。該加工實際上只用于鐵基合金很小的使用領域。在板材厚度一定的情況下，激光切割機 大切割速度反比于材料的氣化溫度。在激光氣化切割中， 優光束聚焦取決于材料厚度和光束質量。

   在激光氣化切割過程中，材料表面溫度升至沸點溫度的速度是如斯之快，激光切割機足以避免熱傳導造成的熔化，于是部門材料汽化成蒸汽消失，部門材料作為噴出物從切縫底部被輔助氣體流吹走。激光功率和氣化熱對 優焦點位置只有一定的影響。